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灯管HL100G -灯管-京都玉崎株式会社(查看)

发布时间:2020-04-22 20:56:56        

真空清洁设备名称真空型光学表面处理装置型号PL1-1107A总览它是在真空中照射185 nm和254 nm的设备。使用方法?清洁和修改镜片和棱镜

?预处理各种基材特色功能?真空度为0?0.001Torr

·?照射尺寸为300×400mm,因此可以作为生产机器使用。

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清洁效果和再污染

通过水滴的接触角评估,等离子体清洁和UV臭氧清洁可以降低到几乎为0度。从理论上讲,如果其他有机化合物即使以单层形式残留在玻璃表面,接触角也不会为0度。在现场获得的接触角具有接触角计的测量极限,因此在收集大量数据时,测量极限在3到6度之间变化。毫无疑问,等离子体和UV臭氧的干洗可以将玻璃表面上的水滴的接触角减小到几乎为0度,但是玻璃表面上的物质很难捕获。另一个问题是,即使有机分子膜从表面上完全去除,许多气体和蒸汽也悬浮在大气中,并且它们粘附在玻璃表面上并被再次污染。多少还不清楚。检查文献数据,差异是相当大的,例如较短的那一项为30分钟,较长的那一项为24小时。因此,我们尝试使用低压灯和Xe准分子灯清洁玻璃。结果示于图2和3。如表6所示,低压灯和准分子灯的发射波长是前者具有254nm和185nm的两个光谱,而后者具有172nm的单个波长。光的波长越短,灯管,能量越高,185 nm线的能量为647 kJ / mol,而172 nm线的能量值为696 kJ / mol,大约高7.6%。尽管性能很高,但是在172 nm线中氧的吸收很强,因此在大约6.6 mm的距离处,大气中的透射率下降到10。从图2可以看出,灯管SUV40DH-s26,当用低压灯进行处理时,在图中所示的条件下,接触角测量极限在10秒内达到。

处理时间延长至30秒,但接触角值没有变化。之后,灯管HL100G ,通过实验添加了超声波清洗(MS),但接触角仪未引起任何变化。实验后,将样品留在实验室中,分别在40小时和120小时后测量表面的接触角,处理10秒的样品的接触角增加到20度,灯管EUV200NS-38,但30秒的接触角没有变化。不可以 在120小时后的测量中,处理10秒的样品略微上升并且接触角增加至21度,但是处理30秒的样品保持不变。由于此刻实验已终止,因此后续结果未知,但迄今为止获得的各种数据中的再污染时间。





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